Forskjellen mellom sputtering Coating og Vakuum Coating i Glass Company

I motsetning til vakuumfordampning er sputtering bruk av høyenergi-ioner for å kollidere med målmaterialet, slik at dannelsen av atomer, molekyler, ioner flyr ut og danner en film på underlaget.

Denne metoden for verktøy er den mest brukte metoden i vår glassflaskefabrikk i popularisering og industrialisering av produksjonen. Sputter-fenomenet oppdages av Grove of A1 på katoden på overflaten av utladningsrøret.

Høyenergi-ioner (eller nøytrale ioner) og målmaterialer for å produsere elastisk kollisjon, måloverflaten til ionene absorberer dette momentumet, og deretter ytterligere kollisjon med de omkringliggende ionene, blir resultatet kuttet av måloverflatens atomer knyttet til bindingen mellom overflaten av atomet flyr ut, noe som resulterer i sputtering.

Alle slags effekter forårsaket av sputtering er effektive for to ganger elektronemisjon, glasskatode (mål) sputtering, gassanalytisk dekomponering, oppvarming av katode, spredning av gårdsplass i layout, gitterforandring og ioneimplantasjon. Sammenlignet med antallet innfallende positive partikler, blir R to-elektronutslippskoeffisienten til glassflasken, og verdien påvirkes av egenskapene til målmaterialet, den positive ionemassen, ioniseringspotensialet og momentumstørrelsen til de to. elektroner.

Når den positive partikkelenergien når flere titalls til hundrevis av elektronvolt, er R-verdien i glassselskapet flere 1% få en tiendedel.

Når et positivt ion kolliderer med et mål, varmes det opp og 75 % av energien omdannes til varme, slik at målmaterialet må avkjøles slik at målet kan dekomponeres eller til og med oppløses. Generelt er energien til vakuumdampen fra fordampningskilden for å fly ut av atomet i glassfabrikken 0.1ev, i målmaterialet spruter ut av atomenergien enn at vakuumfordampningskilden flyr ut av atomenergien til en stor størrelsesorden på 1~2, ca. 5~10ev, hver tidsenhet har sputterhastigheten r,r-verdi og den innfallende positive ionetettheten og sputteringskoeffisientverdien er proporsjonal med produktet.